铁电存储器利用可切换的自发极化进行信息存储和处理,HfO2基铁电薄膜因其在纳米尺度下的稳健铁电性和与CMOS集成的无缝兼容性,成为下一代非易失性存储技术的重要候选材料。传统方法通常主动抑制非铁电四方相(T相)的形成,最大化铁电正交相(O相)。然而邓世清教授/陈骏教授团队研究揭示了T相在铁电开关中的积极作用,并据此提出了一种相协同策略,通过La掺杂稳定O-T相边界显著提升HfO2薄膜的铁电性能。相关成果以“Phase Synergy Enables Low-Power Ferroelectric Switching in HfO2 Epitaxial Films”为题发表在Advanced Materials上。




研究团队通过脉冲激光沉积(PLD)技术在SrTiO3衬底上制备了不同La掺杂浓度(1%~9%)的HfO2外延薄膜,发现La掺杂能够有效稳定铁电O相,并在5%掺杂浓度时实现了O相与T相的最佳共存。在HfO2薄膜中稳定O相T相之间的相干边界,显著提升了铁电性能,将剩余极化(Pr)提高到约30μC/cm²,并将矫顽场(Ec)降低了约30%,达到约3MV/cm。通过原子尺度电子显微镜和深度学习增强的分子动力学模拟,揭示了这些边界通过促进中间极化态降低开关能量势垒,从而将相共存从固有缺陷转变为可调控的设计元素,为超低功耗HfO2基铁电存储器提供了新途径。